Серия Pinnacle Plus+

Испытанный на практике импульсный постоянный ток для одномагнетронного реактивного распыления тонких диэлектрических пленок

Серия Pinnacle Plus+

Обзор

Генераторы Pinnacle Plus + выдают мощность постоянного тока в импульсной конфигурации, обеспечивая реактивное распыление однородных высококачественных диэлектрических пленок.

Источники питания Pinnacle Plus+ обеспечивают все преимущества решения с импульсным постоянным током для реактивных процессов в легко интегрируемом пакете, который повышает эффективность процесса, снижает затраты и обеспечивает превосходную гибкость и широту. Сочетая стандартную технологию постоянного тока и запатентованную технологию импульсного постоянного тока, источники питания Pinnacle Plus+ обеспечивают более высокие скорости осаждения, более воспроизводимые характеристики и исключительное качество пленки по сравнению со сложными и дорогостоящими решениями для переменного тока.

Особенности

Посмотреть документацию

Мощность 1,5кВт, 5кВт и 10кВт
Напряжение 800В
Частота От 0 до 350кГц
Стабильность ±0.1% от диапазона мощности
Точность ±1% от заданного значения или ±0.2% от полной номинальной мощности
Связь Analog, RS-232/485, Profibus
Входное напряжение >208, 400 и 480В