Серия Pinnacle Plus+

Испытанный на практике импульсный постоянный ток для одномагнетронного реактивного распыления тонких диэлектрических пленок

Обзор

Генераторы Pinnacle Plus + выдают мощность постоянного тока в импульсной конфигурации, обеспечивая реактивное распыление однородных высококачественных диэлектрических пленок.

Источники питания Pinnacle Plus+ обеспечивают все преимущества решения с импульсным постоянным током для реактивных процессов в легко интегрируемом пакете, который повышает эффективность процесса, снижает затраты и обеспечивает превосходную гибкость и широту. Сочетая стандартную технологию постоянного тока и запатентованную технологию импульсного постоянного тока, источники питания Pinnacle Plus+ обеспечивают более высокие скорости осаждения, более воспроизводимые характеристики и исключительное качество пленки по сравнению со сложными и дорогостоящими решениями для переменного тока.

Особенности

• - Более высокие показатели осаждения
• - Превосходная однородность и качество пленки
• - Уменьшенное повреждение подложки, вызванное искрением
• - Отличная гибкость и широта процесса
• - Повторяемая производительность

Посмотреть документацию