Серия PEII
Низкочастотный генератор серии PEII с улучшенным контролем дуги и внутренним согласованием нагрузки для 40кГц реактивного напыления тонких пленок
Источники питания серии PEII являются надежным стандартом для двойного магнетронного распыления, как эффективный инструмент для вакуумной очистки и напыления тонких пленок.
Надежная конструкция с водяным охлаждением обеспечивает точное регулирование мощности, напряжения или тока с точностью измерения 1%.
Совместим с программируемым логическим контроллером (PLC).
Обзор
Низкочастотная серия PEII обеспечивает широтно-импульсную модуляцию 40 кГц (ШИМ). Он оснащен расширенным контролем дуги и согласованием внутренней нагрузки с выходной мощностью до 60 кВт при объединении блоков, не требующих внешнего оборудования, такого как трансформаторы или тюнеры. Блок питания также предлагает две различные схемы управления дугой, а плавающий выход может быть заземлен с любой стороны. Блоки питания PEII с водяным охлаждением, соответствуют стандарту CE и включают множество дополнительных аксессуаров.
Доступны 2 модели с выходной мощностью 5кВт и 10кВт.
Мощность | 5кВт | 10кВт |
Выходная частота | 40кГц | |
Диапазон напряжений | Семь уровней переключения в диапазоне 300-950В | |
Контроль дуги | По току и напряжению | |
Охлаждение | Водяное |