Серия Ascent DMS

Дополнительные принадлежности для двойного магнетронного распыления Ascent DMS

Обзор

Серия Ascent®DMS предлагает беспрецедентную простоту подачи и управления для двухмагнетронного распыления, осуществляя точную настройку характеристик пленки. Благодаря выбираемой частоте, режиму регулирования и рабочему циклу, а также низкому запасу энергии и упрощенной модульной конфигурации системы, аксессуар Ascent DMS отличается тем, что действительно является технологией следующего поколения. Экономически эффективный, масштабируемый и универсальный, он сводит к минимуму сложность, повышает качество.

Пакет Ascent DMS MF-120 обеспечивает экономичную среднечастотную мощность для стандартных катодов, обеспечивая при этом преимущества технологии биполярной пульсации.

Особенности

Модульный и масштабируемый (модели 40, 60 и 120 кВт, конфигурируемые до 180 кВт) Выбираемая частота (от 500 Гц до 50 кГц) Регулируемый рабочий цикл - независимое регулирование отношения мощности для каждого магнетрона Расширенное управление процессами благодаря многоуровневому подходу к уменьшению дуги CEX (фазовая синхронизация).

Доступны модели с выходной мощностью 30кВт, 40кВт, 60кВт и 180кВт.

Посмотреть документацию