Серия Ascent AP

Беспрецедентный контроль мощности для одно- и двухмагнетронного распыления

Обзор

Генераторы для нанесения тонких пленок методом биполярной пульсации постоянного тока.

• - Усовершенствованный контроль формы волны позволяет тонко настраивать процесс
• - Доступны как для двухимпульсного, так и для одноимпульсного магнетронного распыления
• - Компактная конструкция включает в себя постоянный и импульсный методы

Источники питания Ascent AP обеспечивают контроль плазмы в компактном решении для одномагнетронного и двухмагнетронного распыления. Запатентованная импульсная технология Advanced Energy обеспечивает исключительную защиту от дуги, более высокие уровни мощности и повышенную пропускную способность. Параметры управления Ascent AP и широкий рабочий диапазон открывают возможности для повышения гибкости процесса и инновации материала.

Особенности

• - Точное напыление диэлектрических и проводящих пленок
• - Расширенное управление процессом
• - Высокое качество пленки
• - Повторяемые, настраиваемые параметры
• - Более высокие уровни мощности с уменьшенным уроном дуги
• - Простая интеграция и управление

Посмотреть документацию