Серия Arc-Bias Solvix

Решение Arc-Bias приносит новый уровень точности и производительности для процессов катодной дуги

Обзор

Источники питания Solvix специально разработаны для создания современных, высокотехнологичных покрытий.

• - Новые возможности нанесения покрытий с прецизионными генераторами смещения
• - Лучшая в отрасли надежность при питании чрезвычайно динамичных процессов ARC
• - Оптимизация системы с использованием самых разных моделей

Мощные дуговые разряды, быстрое испарение материала мишени и высокоэнергетические ионы делают катодное осаждение дуги как мощным, так и потенциально нестабильным. Доступные в диапазоне уровней тока до 400 А, дуговые источники питания Solvix обеспечивают превосходную ионизацию плазмы, энергию ионов и пропускную способность и контроль процесса. Расходные материалы Solvix обеспечивают еще больший контроль над свойствами пленки для очень твердых, плотных и прочных пленок.

Особенности

• - Уменьшенное повреждение субстрата и лучший выход
• - Отличная плотность пленки и адгезия
• - Доказанная надежность и высокая пропускная способность
• - Адаптируемость к широкому спектру технологических требований
• - Эффективная установка и поддержка

Посмотреть документацию